在了各个实验室里。
熟悉的CVD化学气相沉积设备前,翟达穿的和个粽子一样,忍受着潮气被闷在体内,调试着设备参数。
一旁则是原本身材优秀,穿上无尘服雌雄莫辨的“草莓糖”孙婷。
“会长,这个参数必须选最小值,设备精度有问题,挑高一个点,掺杂浓度就由N变P了,另外要先设定厚度再设定掺杂,否则缺陷密度控不住,我觉得是内控系统有问题。”
“这破玩意儿这么麻烦?”
“我向上反馈过,日本厂商调试费要收几十万学校就没音了,可能是觉得还能用,只是影响良品率。”
一个月时间,碳化硅项目组并未因为翟达不在而停滞,相反可以说突飞猛进。
以孙婷为例,已经熟练掌握了化学气相沉积工序,且总结出了自己的经验,良品率达到了80%,远超衬底供应商“英飞凌”提供的行业数据:40-60%。
并且用的是有毛病的设备.
其他人也差不多,葛巧巧对离子注入与退火颇有心得,齐林甚至已经完成了电机非半导体部分的结构设计,正在和许学军一起制作样机。
翟达对于孙婷的指导并未不耐烦,耐心的听着。
片刻后调整好所有参数,翟达起身站在操作台前,将手插入了因为“正压”而杵在设备外的黑色橡胶手套里。
而后将价值数万元的“衬底”酸洗,最后放在托盘上。
之后就纯“等”就行了,除非里面炸了需要紧急停止。
但翟达依旧站在“操作窗”前,注视着茶色玻璃内,有限的内部空间。
这台TEL的设备可以说将小家子气做到了极致,生怕你看到一点里面的东西,恨不得所有东西都做成黑箱。
不准看、不准修,真金白银一千多万买回来,窝囊的和租的一样。
等待的过程中,孙婷试图观察翟达的脸色,最后发现有无尘服观察了个寂寞,于是斟酌着说道:“会长.前两天开会,你说项目组每个人都会有额外补贴.是真的么?”
翟达头也不回,始终盯着茶色玻璃:“对啊.”
孙婷脚尖不自觉提起,扭扭捏捏,如果是平日穿着短裙的模样,大概还俏皮的,但此时只像个被砍了一刀的扒皮牛蛙。
“我能打听一下.有多少么?”
翟达平静道:“之前大家都在学习阶段没顾上,成员也未定,现在上正轨了.每人每月1万元,另外之前两个月的也会补给你们。”
孙婷