bsp;“这台是浸润式duv？”

    “是。”

    “你所说的自己设计的光刻机，也是浸润式？”

    “是，附带成本更高昂一点的浸润系统，优化要等后续，并且大概需要一段时间的测试。”

    “你意思是，你没有进行测试？”

    “我都没做出来，没法测试。手里只有这台东西，而且超纯水什么的，我这边也不好搞，华芯国际有现成的，我才说让你们测试。”

    梁总眉头紧紧皱起，“那你怎么，就觉得自己的想法可行？”

    “我在脑子里跟电脑里都模拟过了，妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了，考虑到当前华夏的工业生产水平，相比起光刻机，我目前为了先做出来的方案一，更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别，我还需要根据实际生产的情况进行优化。”

    ……嘶，梁总匝巴嘴，心想姑且当李颜说的是真的，便继续问道：

    “分辨率跟套刻精度呢？”

    “跟阿斯玛的一样，193的波长，ArFi光刻机，分辨率38nm，得益于浸润式的提升，最小制程7nm。”

    梁总心里一边听一边狂喊“不可能”，喊得筋疲力尽。

    李颜突然一拍脑袋，补充道，“当然，目前套刻精度受制于制作工艺精度，实际用起来，想要通过多重曝光达到7nm制程，良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题，实际应用的话，应该还是制程28nm的芯片为主。”

    “你说的要都是真的，你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来，“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶！不可思议！”

    梁总继续问，“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作，你竟然能用手拆了之后复原，并且不影响他们的精度？”

    “梁总，要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否，那也太低级了。就算是全机械流水线安装，大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗？”

    “那……”

    “他们肯定都有互相匹配的卡位装置，就连螺丝转几圈都有具体规定，并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度，相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样，精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差，才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道，“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”

    梁总听得很急，他有太多问题想问了：

    “你怎么能知道螺丝转几圈这种东西？”