解答。

    经过一番沟通，高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理，高振东要求的精度，没超出各位大师傅的能力范围，也没玩别的花活儿或者高科技，差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。

    减速机构说起来是减速，根子上就是按照一定比例改变运动状态，其实可以用于不同的用途，力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等，都行。

    宏动用的齿轮，微动用了丝杠，三轧厂的大师傅们通过精心的设计，让齿轮组、丝杠等等巧妙配合，实现了对工件台的运动的精确定位。

    在日后不算精确，这个时候可就很精确了。

    对于这个东西，高振东既没有要求运动速度，也没要求定位速度和稳定速度，这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少，目标既明确又纯粹。

    那些指标，是自动化生产需要的，但是高振东现在并没有考虑那个，和PCB与焊接不同，IC这个东西整个产业规模暂时还达不到，生产那么快干嘛。

    先解决有没有，参与人员经验多了信心足了，再继续改进就是。

    高振东前世，我国77年搞的接触式和接近式光刻机，也是手动的。

    高振东看着手上的工件台参数表，他这个时候，有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。

    那就是惊喜，我本来没想要这么好的，怎么你就拿出这么好的东西出来了？万万没想到啊。

    “易师傅，这个移动标准差和移动平均差，你们已经做到1.5μm了？”高振东语含惊喜。

    移动标准差决定了光刻线宽，移动平均差会影响套刻精度，这两个指标，是高振东在这一块最看重的，而别的指标都往后稍稍。

    易中海和所有的师傅对望一眼，面带自豪。

    “是啊，我们搞了一下子，大家合计了一下，觉得以手上的条件，加把劲，其实能搞得更好。于是大家各自想办法，拼了老命的把这个降到了1.5，想来对你们来说，应该是有用的。”话说得朴实简单，但是其中过程的艰辛应该是不少。

    看着易中海在工件台上一阵操作，现场的验证了1.5μm的运动精度，高振东一拍大腿：“这可太有用了！各位师傅，这么说吧，你们已经实现了我下一步想要达到的精度目标，是大跨了一步啊！谢谢你们！”

    说完，高振东后退一步，给大家行了个礼，然后抬起头来。

    “各位师傅，我在此宣布，特种工艺工件台课题，原理样机基本成功，可以转入下课题研究的下一阶段，谢谢所有参与者的辛勤劳动和艰苦付出。”

    各位师傅齐齐鼓掌，这位高总工为人，那真是没得说。

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