能干别的去了，比如pcb制造。

高振东搞光刻机，可不止为了集成电路一个目标，做光刻pcb，双面板就行，结合自己以前给运算所的波峰焊，多的不要求，把电子产品的自动化制造往上也顺手弄弄。

易中海他们的车间也在三分厂里面，几步路就到了。三分厂的工作就是这样，不论你原来是哪个分厂哪个车间，一旦接了三分厂的工作，原则上都是要到三分厂来完成的，除非设备实在搬不动。

见高振东进来，一群老师傅小徒弟都看向他，也包括易中海的徒弟，秦怀茹。

这个工件台，没有采用高振东前世看到的那些工件台的技术，像什么气浮电机、激光干涉等等技术，一律没有。

一是没那技术，二是没必要用那技术。那些东西是为了n级别的精度准备的，对于现在这个高振东只要求5μ的来说，差着几千倍呢。

工件台总体看起来个头不算小，不是系统，中间是隔振系统，底部才是基座，不过后两者严格说来不是工件台的一部分，是光刻机的一部分了。

“介绍介绍吧，易师傅。”

这里面，八级钳工易中海无疑是领头的那个，反而没有专业的机械设计人员，主要是厂里没有，所以这个东西，全靠这帮大小师傅的经验来完成了。

高振东点了名，易中海就指着机器，一点一点的介绍起来，用语平实，有不少他们钳工车工等工种的行内话，高振东还得问一问是什么意思才能完全理解，颇有一点前世看互联网黑话的感觉。

师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处，大大方方问问题的作风，也是心中认可，对味儿！一个个的都热情解答。

经过一番沟通，高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理，高振东要求的精度，没超出各位大师傅的能力范围，也没玩别的活儿或者高科技，差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。

减速机构说起来是减速，根子上就是按照一定比例改变运动状态，其实可以用于不同的用途，力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等，都行。

宏动用的齿轮，微动用了丝杠，三轧厂的大师傅们通过精心的设计，让齿轮组、丝杠等等巧妙配合，实现了对工件台的运动的精确定位。

在日后不算精确，这个时候可就很精确了。

对于这个东西，高振东既没有要求运动速度，也没要求定位速度和稳定速度，这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少，目标既明确又纯粹。

那些指标，是自动化生产需要的，但是高振东现在并没有考虑那个，和pcb与焊接不同，ic这个东西整个产业规模暂时还达不到，生产那么快干嘛。

先解决有没有，参与人员经验多了信心足了，再继续改进就是。

高振东前世，我国77年搞的接触式和接近式光刻机，也是手动的。

高振东看着手上的工件台参数表，他这个时候，有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。

那就是惊喜，我本来没想要这么好的，怎么你就拿出这么好的东西出来了万万没想到啊。

“易师傅，这个移动标准差和移动平均差，你们已经做到1.5μ了”高振东语含惊喜。

移动标准差决定了光刻线宽，移动平均差会影响套刻精度，这两个指标，是高振东在这一块最看重的，而别的指标都往后稍稍。

易中海和所有的师傅对望一眼，面带自豪。

“是啊，我们搞了一下子，大家合计了一下，觉得以手上的条件，加把劲，其实能搞得更好。于是大家各自想办法，拼了老命的把这个降到了1.5，想来对你们来说，应该